SF6虽无色五毒，但是大量泄露会使人呼吸困难甚至窒息，因此在工业作业的过程中对SF6泄露监测就显得尤为必要。在传统的技术应用中对SF6气体的监测方式包括气压表测量法和密度继电器测量法，以及半导体测量法等，并且超声波测量以及负电晕放电测量也是常见的SF6泄露监测方法。

　　其中气压表测量主要是对气体压力打开测度，然后完成SF6是否存在蜕变问题完成判别。可是考虑到在温度改变剧烈的环境中，SF6气体压力会随之有所改变，因而此种方法只有在环境温度改变不明显的时候才干打开有效使用，而且无法完成相关数据的自动化获取，其测定结果通常仅供参考。
 

　　而关于密度继电器丈量而言，其机械特点本身决定了其抗震才能等方面均不尽善尽美，因而无法完成气体微量走漏的测定。

　　半导体传感器则以二氧化锡半导体作为电极，依据其强亲氟化物的特征来完成关于空气中气体含量的测定。此种测定方法能够完成较高精度，而且在本钱方面也占据极大优势，可是寿数相对有限，跟着寿数的延伸其误报率有了明显增高。

　　采用超声波测速法打开关于SF6泄露监测的测量，是根据超声波传播速度随气体摩尔质量添加而改变这一特性。SF6气体的摩尔质量是空气的五倍，因而当其发生走漏的时候，会导致周围环境介质摩尔质量的明显上升，然后完成关于其密封状况的判别。此种工作方法虽稳定且精度较高，因而难以完成大面积使用。

　　负电晕放电检测设备通常置于电站开关柜内，是当前比较常见的SF6泄露监测设备，具有结构简单、可靠性高的特征，且成本控制相对较简单，十分合适大范围在线监测。可是此种技术相对而言寿数较短，简单造成误报警问题的发生，可信度已经成为阻碍其进一步深入使用的主要因素。